行業(yè)自動化是一個引人注目的行業(yè)，并且正在向新的方向發(fā)展。產品多樣化，定制化和差異化的需求越來越大，使得制造商難以大批量生產零部件。
因此，小批量和批量生產會給企業(yè)帶來巨大的成本。于是，很多公司開始探索工業(yè)自動化領域的新技術和新機會，其中一項就是微電子機械系統(tǒng)(微型機電系統(tǒng))。從機械機械到電子，這是一個微型機械機械的時代。
微機電系統(tǒng)-半導體先進技術。
微型計算機系統(tǒng)體現了一種先進的半導體技術，它包括移動元件和電子元件的單一芯片。
微機電系統(tǒng)制造過程包括體積微機械加工，包括對基材進行局部蝕刻或用化學品清除基材的成型結構，表面微機械加工，其中材料沉積在基材上，成形結構。
微機電系統(tǒng)技術所提供的可靠性、可擴展性、靈敏度和性價比高的解決方案，給工業(yè)自動化領域提供了廣闊的應用前景。
壓力傳感器和慣性傳感器(如加速度計和陀螺儀)是微型機電系統(tǒng)中對工業(yè)自動化有影響的傳感器類型。
比如硅微機械壓力傳感器在工業(yè)過程控制、汽車檢測、液壓氣動監(jiān)測/控制等領域的應用。其他廣泛應用的壓力傳感器包括冰箱狀態(tài)監(jiān)測，制冷劑回收，高壓VAC風扇控制或變風量測量，壓力遞增檢測，泄漏和壓降檢測，以及許多其它工業(yè)控制應用。
微機械機械電子系統(tǒng)技術對于工業(yè)機器人尤其有利，因為這種技術可以應用在觸覺傳感器，導航或接近傳感器上。
工業(yè)領域中的一些非微型機電系統(tǒng)近程傳感技術由于商業(yè)可行性不高，因而在近程或位置傳感器的制造方面的研究受到了限制。
但是，微機電系統(tǒng)技術允許開發(fā)或生產成本低廉的觸覺傳感器，它能讓機器人獲得感知信息，并以一種更普遍、更自主的方式做出決策和行動。
微結構化的發(fā)展趨勢為多傳感器應用于機器人、生產工藝、過程控制、生物技術及生命科學等領域提供了機遇。同時，多傳感器增強了多參數準確、可靠測量的能力。
有一種微機電系統(tǒng)裝置制作了一系列適用于高溫環(huán)境的傳感器陣列。它由氧化錫傳感器、基于碳化硅的混合氮氧化物傳感器、碳化合物傳感器和氧化傳感器組成。該傳感器以電阻、二極管和化學電池為不同的工作原理，每個傳感器對環(huán)境中的單個氣體有完全不同的反應。
該裝置適用于高溫環(huán)境，可以監(jiān)控化學品。隨著多傳感器技術的不斷發(fā)展，多傳感器技術可以提供大量的數據和信息，從而提高系統(tǒng)的性能。
同時，微機電系統(tǒng)濕度傳感器在工業(yè)生產中具有很大的應用潛力，主要應用于各種工業(yè)中。
由微型計算機電系統(tǒng)制造的熱電堆是紅外傳感器，它可以在各種工業(yè)應用中測量溫度變化，例如，表面溫度監(jiān)測和包裝。它還被用在紅外線氣體測試儀中，用來檢測二氧化碳，還用于建筑物的通風。
熱電堆紅外傳感器采用微機電系統(tǒng)，可在硅體腐蝕下制備導熱率低的薄膜。微機電系統(tǒng)熱電堆徑向裝在薄膜上。熱電堆測量了接觸到紅外線輻射后，薄膜中心和周圍溫度的變化。
微機電系統(tǒng)技術有很大的潛力降低成本。由于易于成批生產，舉例來說，模擬器公司的生產方法已經標準化，每年能運送數百萬臺發(fā)動機。該工藝相對于傳統(tǒng)的傳感器制造工藝簡化，耗時短。
微機電系統(tǒng)技術也是一種標準化的表面微機械加工技術，它是目前在微機電系統(tǒng)CAP中用多晶硅制造微機電系統(tǒng)設備最廉價的制造技術之一。
硅膠是制造微型機電系統(tǒng)設備的主要材料，它能使微型機電系統(tǒng)既經濟又有效。
與傳統(tǒng)傳感器相比，微機電系統(tǒng)的傳感器更加靈敏。因此微機電系統(tǒng)中的傳感器比傳統(tǒng)傳感器有更大的優(yōu)越性，尤其在高精度、高精度的應用中。
傳感器小型化的優(yōu)勢：小型化是電子或機械設備市場的主流趨勢。
微機電系統(tǒng)技術提供了在小區(qū)域中填滿更多微機電系統(tǒng)部件，從而減小特定產品的整體尺寸的能力，多功能微型機電系統(tǒng)組件，可增強產品功能，例如工業(yè)機器人等。
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