分辨率作為衡量傳感器最小可檢測(cè)力值的指標(biāo),其數(shù)字化實(shí)現(xiàn)依賴于信號(hào)鏈的全鏈路優(yōu)化。24 位 Δ-Σ ADC 的應(yīng)用使傳感器分辨率突破 0.0001% FS,配合過(guò)采樣技術(shù)(采樣率提升至 1MHz),可有效抑制量化噪聲。某半導(dǎo)體晶圓探針臺(tái)用傳感器通過(guò)采用 16 倍過(guò)采樣,將分辨率從 0.1mN 提升至 0.01mN,滿足納米級(jí)接觸力測(cè)量需求。
數(shù)字信號(hào)處理算法是分辨率提升的核心驅(qū)動(dòng)力。小波變換去噪算法的引入,可在保留微弱信號(hào)特征的同時(shí),將噪聲水平降低 30dB,使傳感器在 1μN(yùn) 級(jí)測(cè)量中保持穩(wěn)定輸出。在生物力學(xué)研究中,某細(xì)胞力傳感器通過(guò)結(jié)合卡爾曼濾波與自適應(yīng)閾值算法,成功捕捉到細(xì)胞遷移過(guò)程中 0.05μN(yùn) 的力變化,為細(xì)胞力學(xué)特性研究提供了精準(zhǔn)數(shù)據(jù)。
硬件與算法的協(xié)同設(shè)計(jì)進(jìn)一步拓展了分辨率邊界。采用低噪聲運(yùn)算放大器(噪聲電壓 < 1nV/√Hz)與低溫漂電阻網(wǎng)絡(luò),可將系統(tǒng)噪聲控制在 0.05μV 以內(nèi),配合 BP 神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)誤差補(bǔ)償模型,使傳感器在全量程范圍內(nèi)分辨率保持一致。在光纖連接器插拔力測(cè)試中,這種設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了 0.1mN 的分辨率,精準(zhǔn)識(shí)別插拔過(guò)程中的微小力波動(dòng)。
深圳市力準(zhǔn)傳感技術(shù)有限公司是專業(yè)研發(fā)生產(chǎn)高品質(zhì)、高精度力值測(cè)量傳感器的廠家。主要產(chǎn)品有微型拉壓力傳感器、拉桿式拉壓傳感器、S型拉壓力傳感器、環(huán)形傳感器、柱式傳感器、軸銷類傳感器、稱重類傳感器、多軸力傳感器、扭矩傳感器、微型位移傳感器、壓力變送器、液壓傳感器、變送器/放大器、控制儀表、以及手持儀等力控產(chǎn)品達(dá)千余種產(chǎn)品。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于多種新型和智能化高端領(lǐng)域,包括工業(yè)自動(dòng)化生產(chǎn)線、3C、新能源、機(jī)器人、機(jī)械制造、醫(yī)療、紡織、汽車、冶金以及交通等領(lǐng)域;產(chǎn)品技術(shù)持續(xù)創(chuàng)新、新品研發(fā)能力強(qiáng)。